排気速度：8400/10000L/min、到達圧力：2.0×10^-3/7.0×10^-4mbar、モータ出力：2.2KW+6.2KW、電源：3相200V、吸気口径：ISO100、排気口径：NW40、質量：276kg、付属品：エンクロージャーキット、チャッキバルブ
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